案例分享倍福 XPlanar 平面磁悬浮输送系统负责输送等离子体表面处理过程中的工件

导语：总部位于德国施泰因哈根的 Plasmatreat 有限责任公司是一家专为高效表面处理和环保生产工艺提供等离子体系统的制造商，公司在去年的 2019 年德国杜塞尔多夫橡塑展 K 展上展出了一款全新的等离子体处理装置。该处理装置创造性地采用了倍福的 XPlanar 平面磁悬浮输送系统实现高精度和灵活的工件输送。XPlanar 取代了以前用于输送 PCB 板等敏感元件的系统，并且无需安装复杂的六轴机器人和直线电机。

总部位于德国施泰因哈根的 Plasmatreat 有限责任公司是一家专为高效表面处理和环保生产工艺提供等离子体系统的制造商，公司在去年的 2019 年德国杜塞尔多夫橡塑展 K 展上展出了一款全新的等离子体处理装置。该处理装置创造性地采用了倍福的 XPlanar 平面磁悬浮输送系统实现高精度和灵活的工件输送。XPlanar 取代了以前用于输送 PCB 板等敏感元件的系统，并且无需安装复杂的六轴机器人和直线电机。

等离子体处理装置可以将不同材料的表面处理分为两个阶段，Plasmatreat 的设计负责人 Jochen Stichling 阐述道：“在第一阶段，基板被移动到喷嘴下方进行清洁和活化。在第二阶段，用喷嘴喷涂功能性涂层。”他解释，公司在这方面一直专注于创新：“我们需要一个处理速度快、完全可编程且无磨损的系统来输送工件。而在定制化编程轨迹和行程方面，倍福的 XPlanar 平面磁悬浮输送系统是不二之选。”

由可自由悬浮的动子组成的平面电机输送系统

XPlanar 平面磁悬浮输送系统将可以随意排列的传输平面模块与悬浮在其上方的动子托盘的定位能力完美结合于一体，可以实现快速、灵活及高精度定位。动子可以在二维平面上进行无摩擦、无接触的运动，最高速度可达 4 m/s，加速度可达 2 g，重复定位精度可达 50 μm;运行过程中几乎不会产生任何噪音或机械磨损。该系统不仅支持二维 X/Y 空间内的定位运动，还提供在必要时让动子做六自由度运动的附加功能：

– 最大 5 mm 的升降运动(空载)，可选择称重功能

– 最大 5° 倾斜运动，用于处理液体的输送

– 最大 ±15° 的旋转或者在特定传输平面模块上 360° 的旋转;

Plasmatreat 等离子体表面处理设备中使用的 XPlanar 输送系统由 6 个 240 x 240 mm 的平面模块和 1 个动子托盘组成。

*新的等离子体表面处理设备结构非常紧凑，因为它不再需要使用六轴机器人或额外的线性轴

提高灵活性，降低机械复杂性

XPlanar 系统的一个重要优点是，不再需要移动用于表面处理的等离子体喷流装置，因此，现在可以将其安装在固定的安装架上。无论是从机械方面还是从电气方面看，等离子体喷流工艺都是相当复杂的，如果能够只移动工件而不是等离子体喷流装置本身，可以大大减少进料装置的磨损。Jochen Stichling 认为，灵活性的提高也给我们带来了额外的好处：“我们只需要使用简单的工装就可以将各种材料样本放到动子上输送至处理工位。我们可以很轻松地在等离子体喷流装置旁边增添各个加工工位(例如，给合格工件做上标记的工位，或者用光学灵敏测头进行全面工件检查的工位)，并根据需要灵活地将工件输送到这些工位。XPlanar 的加速度很快，也让我们能够高速移动材料样品;例如，对于较薄的样品，这有助于减少固定喷流装置的处理时间。”